襯底，分為繪圖襯底，和化工學襯底兩種。繪圖襯底指的是將圖片或文字充滿整個版面使其為底紋。化工學襯底最常見的為氮化物襯底材料等。目前市面上有三種材料可作為襯底：藍寶石、硅、碳化硅。襯底的特點。1、襯底與外延膜的結構匹配：外延材料與襯底材料的晶體結構相同或相近、晶格常數失配小、結晶性能好、缺陷密度低。2、襯底與外延膜的熱膨脹系數匹配：熱膨脹系數的匹配非常重要，外延膜與襯底材料在熱膨脹系數上相差過大不僅可能使外延膜質量下降，還會在器件工作過程中，由于發熱而造成器件的損壞。3、襯底與外延膜的化學穩定性匹配：襯底材料要有好的化學穩定性，在外延生長的溫度和氣氛中不易分解和腐蝕，不能因為與外延膜的化學反應使外延膜質量下降。